Ce processus en deux couches permet la fabrication de jonctions SWAPS (« side-wall passivated spacer ») en niobium au moyen d’une triple couche Nb-Al-AlOx-Nb avec une couche supérieure de câblage en niobium.
CMC offre ce procédé dans le cadre d’un service de plaquettes multiprojets (MPW).
- Jonctions à triple couche Nb-Al-AlOx-Nb
- Substrat en silicium à résistivité élevée
- Couche supérieure de câblage en Nb
- Ce procédé offre 20 copies de conception.
Applications
- Jonction de Josephson
- SQUID
- JPA (« Josephson parametric amplifier »)
- Composants électroniques à basse température
- Résonateurs
- Qubits
Services
- Trousses de conception
- Services de vérification des règles de conception
- Soutien en matière d’ingénierie de CMC