Cette note d’aide concerne le module de correction de proximité optique (OPC) : Comment démarrer ce module et où trouver de l’aide et des exemples. Elle résume brièvement les étapes de démarrage du module. Ces étapes s’appliquent à tous les modules du RET Flow Tool. La version présentée dans ce document est la version 2024.3.
Comment lancer les outils d’amélioration de la résolution
Étape 1 : Ouvrez Siemens Calibre WORKbench à partir du disque STC de CMC Microsystems dans votre université d’origine, ou dans l’un de nos comptes virtuels VCAD Linux. Pour plus d’informations sur ces comptes, veuillez consulter notre page web sur l’environnement de conception en nuage.
Pour commencer, créez un fichier script *.csh qui se trouve sous /CMC/scripts pour déclarer le PATH de l’environnement et l’emplacement de la licence pour Calibre. La figure 1 montre comment procéder dans un terminal Linux. Une fois que vous avez fait cela, entrez ce qui suit à l’invite du terminal : calibrewb
Étape 2 : dans WORKbench, ouvrez la fenêtre RET Flow Tool.
Dans le menu principal, sélectionnez Mask Synthesis | RET Flow Tool 2.0… (ou RET Flow Tool…), comme le montre la figure 2.
Étape 3 : Ouvrez un New RET Flow (nouveau flux RET).
Dans le menu principal, sélectionnez File | New RET Flow…, comme le montre la figure 3.
Étape 4 : Cliquez avec le bouton droit de la souris sur la boîte Untitled_Flow0 et ajoutez une nouvelle session, comme le montre la figure 4.
Où trouver des exemples et de l’aide pour les outils d’amélioration de la résolution
Pour trouver de l’aide et des exemples pour les outils RET, consultez la série de vidéos Calibre How-To, hébergée sur un site externe. Les vidéos se trouvent dans le menu Help (Aide), comme le montre la figure 5.
