Dans ce webinaire, nous explorerons en détail comment le logiciel IntelliSuite peut être bénéfique et aider à travers les différentes verticales du cycle de développement des MEMS. Du concept de conception, au développement de divers kits de conception de processus (PDK), au processus de fabrication virtuelle et à la simulation, à l’analyse multiphysique et à l’intégration de systèmes/3D. Alors que le logiciel peut aider à rationaliser/simuler la recette du processus dans l’usine avant le processus réel, il maille également le modèle de processus (usine) pour exécuter une simulation FEM multi-physique afin de rendre le dispositif conçu plus manufacturable et réalisable en termes de performance. En outre, grâce à la simulation du modèle d’ordre réduit et aux liens avec les outils EDA de circuit, le concepteur du système peut concevoir le circuit de contrôle et de détection avec plus de précision. L’architecture ouverte permet à l’Intellisuite de contribuer à la conception de divers capteurs et actionneurs en silicium non traditionnels (au-delà du silicium), tels que le quartz, l’InP, le saphir, etc. Elle permet également la simulation de processus non traditionnels, tels que la gravure angulaire par faisceau d’ions (IBE), la lithographie 3D, l’oxydation 3D, la gravure humide de substrats à indice élevé (Si/Quartz), etc.
Profil de l’orateur – M. Sripadaraja, PhD est directeur des applications et des ventes chez IntelliSense Software, Lynnfield, MA. M. Sripadaraja est responsable du développement commercial du progiciel MEMS IntelliSuite. Il a plus de 10 ans d’expérience dans la conception/fabrication et le développement de dispositifs MEMS à l’aide d’IntelliSuite. Il est titulaire d’un doctorat de l’Institut national de technologie de Karnataka, en Inde.
